記者王明琦/綜合報導 圖/亞東工業氣體提供
亞東工業氣體12日於竹科舉辦司馬庫斯廠落成典禮，大幅拓展電子級氣體供應量能，並透過創新科技，降低單位碳排放量。亞東工業氣體在台深耕逾38年，長期以高品質之工業氣體、特殊氣體與先進材料，支持半導體產業發展。
位於新竹科學園區內的司馬庫斯廠為亞東全台最大廠區，生產半導體製程中關鍵的電子級氮氣、氧氣、氬氣等產品，該廠落成後，將大幅提升現有生產量能，並透過地下管線就近將所需氣體輸送給客戶，不僅提升供應效率、可靠度與信賴度，更減少碳排。為滿足半導體產業對電子級氮氣的大量需求，亞東更導入母公司法國液空集團的創新技術，首度於司馬庫斯廠引進新世代大型電子級氮氣生產設備，此設備不僅能大量生產高純度氮氣，運轉效率更較現有機型提升10%。透過創新科技與製程優化，司馬庫斯廠成為亞東氮氣產量最大，且單位產能用電密集度最低的廠區，助力半導體產業邁向永續。
亞東工業氣體總裁Olivier LETESSIER表示：「半導體產業是液空集團達成ADVANCE策略目標的關鍵市場之一，而台灣更是引領半導體產業發展的關鍵樞紐。透過持續投資，液空集團很榮幸能夠繼續提升台灣半導體材料市場的供應量能與韌性，強化客戶體驗，幫助客戶持續成長的同時，也達成永續目標。」
